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    平面拋光機的拋光工藝是利用自由散粒磨料在工件被加工面及磨盤基面上相對運動，使工件表面變得非常高的平整度及光滑度，工件固定不需要強夾、真空、磁鐵，只是自然地放置在磨盤上，基本上能適合加工任何金屬和非金屬材料的工件，鏡面研磨機沒有了強制性的裝夾及一般磨床的剛性磨削，減少的了沖擊及發熱產生的次生變形，更用利于高精度和高光潔度的加工。即使一個沒有經驗的操作員也可以輕易使用鏡面研磨機獲得最佳0.2um的平面度及Ra0.02um粗糙度。

    平面拋光機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。通過控制器，產生高頻電振動傳輸至換能器上。換能器再將輸入的超音頻電信號轉換成機械振動，經地變幅桿放大后，傳輸至裝在變幅桿上的工具頭上，再帶動附著在工具頭上的金剛石或磨料的懸浮液等高速磨擦工件，致使工件表面粗糙度迅速降低，直至鏡面，從而實現拋光的功能。